工程背景图
某大中型半导体材料带来制造各个行业坐落于长江三角型城市,主要是带来晶圆和集成ic。在带来过程中中,晶圆锯开和cnc精密机械加工阶段性带来多机磨液化工废水,平均摆放量上涨约50吨。因此化工废水下具有刺激性ab剂值飘浮物、黑色金属阳离子及充分增加剂,单独摆放会对工作环境从而造成为严重污染问题,各个行业亟需基础建设专业除理建筑设施。
电镀废水材质及原因
磨研液电镀废水基本从何而来于晶圆生产制造中的检查是否机械设备制造抛光处理(CMP)流程,基本环境排放物比如:
悬浮物颗料物
:二脱色硅、脱色铝等打磨粒子,粒度分布在0.1-1μm,渗透压高达独角兽2000mg/L。
材料化合物
:铜、铁、锌等,产自抛光处理垫偏磨及晶圆从表面塑料层,铜亚铁离子含量约50mg/L。
可挥发获取剂
:还包括表面上几丁质酶剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强含碱物料
:pH值起伏大,一般 在2-11之中。
净化处理艺操作流程
针对于废渣性能指标,主要采用“预办理+生化模式+厚度办理”女子组合的工艺:
调理池
:稳定污水水质容量,增长腐蚀性改善pH至普通。
混凝土积淀
:添加PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),出掉飘浮物和氢氧化铁,沉降后SS出掉率>90%。
催化剂的作用钝化
:采用了Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机质加上剂,COD消除率达60%。
生态学操作
:MBR膜怪物化学反应釜进一部溶解残余有机质物,COD低于100mg/L一些。
阳离子对换
:专属聚酯树脂吸收铜正离子,冒水铜含量<0.5mg/L。
砂滤+化学活化炭过滤装置
:有效确保留水清亮,实现《污水管道全方位的的水质标准的》(GB8978-1996)一級标准的。
以后体验
平台正常运作动态平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
循环率达40%,剩余时间及格排污,年削减生活污水排污1.10万吨。
加工处理成本低约15元/吨,远大于行业内均。