半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
新项目大环境
本次目靠近苏南形地某国级半导体设备制造业四园,企业首要生育8寸大和12寸大晶圆,曰产量增强2万片。随之的生产专业能力增强,改变的废水操作方法操作操作系统已尚未提供环保节能需要,急要版本升级提升。的项目总的投资约1300万元,设计方案操作专业能力为300吨/日,于2023年开工建设投产。
废污水营养成分及由来
该机构晶圆片区流程带来的废水处理工艺主耍涵盖下例组成:
裁切的时候中的使用的研磨机液使用量物,主要的材料为二钝化硅科粒、表层催化双氧水稳定剂和有机肥料生成剂
晶圆外层刷洗存在的含氟废污水,氟铁离子浓度值在80-120mg/L
多量巨资属阳离子如铜、镍等,主要来发源激光切割设备划痕
有机会萃取剂余留,有异丙醇、甲苯等
pH值上下波动极大,经常在4-10直接
办理新工艺方法
真对化工废水特质,的设计选取"有机化学预处置+生化模式处置+强度处置"的组装的工艺:
调准池
:教育均衡发展水质标准水流量,设计pH网上评估和自主投加药剂系统的
混凝土发展
:添加PAC和PAM,彻底清除漂浮物和溶液材质
气浮象限
:通过溶气气浮艺进两步祛除不起眼粒子和地方有机化学物
生物化补救
:按照MBR膜生物工程作用器,污泥干化盐浓度达到在8000-10000mg/L
深入补救
:活性酶类炭吸咐+反融于生产技术,切实保障出水量及格
污泥干化办理
:板框刮刀离心机脱水情况,污水含水量率降到60%以上
加工处理效率
软件系统安稳执行后,有水出水质必须完全性高于《光电子化工水的污染源废气必须》(GB39731-2020)非常废气限制值必须:
COD<30mg/L
氟铁离子<5mg/L
悬停物<10mg/L
高价属四项指标体系均高出规定值
创业项目每一年可抑制环保问题物产生量约COD 32吨、氟化物8.5吨,循环水率提升75%上面的,为厂家大大节省水电费性支出约115万元/年。