半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
内容背景图
该制造业公司公司为全球最大更优的光电器件测封制造业公司公司,处在长三角地区形国家,主耍实行顶级办理芯片的片区和芯片封装測試。伴随本地人生态环保规范要严格,制造业公司公司决心施实废气零尾气排放标准施工。创业项目于明年重新启动,202三年6月建设投入使用,办理规模化为200吨/日,总投资项目约2000万。
生活污水成份及因素
该类目标片区废水处理方法体现了下共同点:
高渗透压氟化物,首要基晶圆激光切后的洗涤工作,氟阴离子渗透压达到了150-200mg/L
具有纳米级级硅粉顆粒,粒度多在100-500nm当中
有机会强度较高,COD在500-800mg/L
带有轻微高价属如铅、镉等
导电率高,一般说来在2000-3000μS/cm
处理制作工艺步奏
为体现零尾气排放标准总体目标,艺来设计侧重点选择工业废水几大类收废和市场收废:
废渣细分采集机系统
:将含氟生活污水与其他生活污水独立获取
电学积淀除氟
:按照二级钙盐沉定法,搞好团结高效率的沉定池
二级防氧化清理
:活性氧催化被氧化被氧化可降解难处里有机化学物
膜原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 系統
:用DTRO碟管式反渗,精提度数为10倍
蒸发掉沉淀
:MVR机械装备液体再缩小蒸馏器正确处理浓水
干热系统的
:将凝结盐吹干后成为工业企业副新产品外售
处里功效
系统软件自动运行数据文件屏幕上显示:
氟化物消除率>99.9%,有水出氟阳离子<1mg/L
COD总弄掉率>98%,有水出COD<20mg/L
水自然资源回收并率>95%,仅产生了少量出凝结盐
常年回收利用并高品格中水回用水约16万吨
凝结盐溶解度以达到工业化级标准规范,变现市场化利于
产品一方面满足了生活污水0排放标准,还顺利通过成本收集带来了约80多万元/年的格外效率。