该晶圆营造厂应用于豫东发展中国家,一般生孩子8厘米半导体器件晶圆,每日废水处理工艺排放规格口量约800吨。基于生孩子环节中施用大批量盐酸做出晶圆蚀刻,促使废水处理工艺中氟化物有机废气浓度高至200-300mg/L,远超发展中国家排放规格口规格(10mg/L一些)。
废水处理方法物质及由来
废水处理方法基本来源三大环节:
晶圆蚀刻工步
:含高酸度氟化物(HF)、氰化钠及少量的血本属
有机化学机械厂抛光处理(CMP)废水处理方法
:含nm级硅颗料、生物碳络合剂
设施设备清洁工作废气
:含异丙醇、挥发酚等酚类化合物物
清理工艺设计具体步骤
选用"物理化学奠定+混凝土奠定+宽度脱水"三级职业资格证书处里装置:
特级操作
:添加氯化钙和氢腐蚀钙,成型氟化钙乳浊液,氟化物避开率达85%
中级外理
:增加PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),消除固体态的废水
三级分销解决
:根据多媒质过滤程序器和活力性炭吸附性,出液氟化物氧浓度稳定性高在8mg/L下面的
根本产品是指:pH智能调准控制系统、斜管沉淀出的池、板框压滤(废水出现脱水)。
结果是实际效果
項目启用2年统计数据库数据库显现:
氟化物差不多氧浓度:7.2mg/L(大于国家地区规则)
COD祛除率:92%
生活污水含水分率:≤65%
年收售氟化钙副厂品约150吨,确保资源量化再生利用