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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆营造厂应用于豫东发展中国家,一般生孩子8厘米半导体器件晶圆,每日废水处理工艺排放规格口量约800吨。基于生孩子环节中施用大批量盐酸做出晶圆蚀刻,促使废水处理工艺中氟化物有机废气浓度高至200-300mg/L,远超发展中国家排放规格口规格(10mg/L一些)。 废水处理方法物质及由来 废水处理方法基本来源三大环节: 晶圆蚀刻工步 :含高酸度氟化物(HF)、氰化钠及少量的血本属 有机化学机械厂抛光处理(CMP)废水处理方法 :含nm级硅颗料、生物碳络合剂 设施设备清洁工作废气 :含异丙醇、挥发酚等酚类化合物物 清理工艺设计具体步骤 选用"物理化学奠定+混凝土奠定+宽度脱水"三级职业资格证书处里装置: 特级操作 :添加氯化钙和氢腐蚀钙,成型氟化钙乳浊液,氟化物避开率达85% 中级外理 :增加PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),消除固体态的废水 三级分销解决 :根据多媒质过滤程序器和活力性炭吸附性,出液氟化物氧浓度稳定性高在8mg/L下面的 根本产品是指:pH智能调准控制系统、斜管沉淀出的池、板框压滤(废水出现脱水)。 结果是实际效果 項目启用2年统计数据库数据库显现: 氟化物差不多氧浓度:7.2mg/L(大于国家地区规则) COD祛除率:92% 生活污水含水分率:≤65% 年收售氟化钙副厂品约150吨,确保资源量化再生利用

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