该電子厂坐落在西北中北部,关键加工半导体设备涂料,加工步骤中所产生多含氟化氢的工业废水,日废气排股票放量约50吨。考虑到氟化氢含量独角兽高达800mg/L,远超国内废气污染物基准(10mg/L下类),企业公司需要投建技术办理设施设备。
废水处理方法材料及的来源
污水主耍来自五湖四海晶圆的清洗、蚀刻程序,主耍影响物为氟化氢(HF),一并含有少许盐酸、硅酸盐及微量分析血本属。pH值不高(1-2),兼有强蚀化性。
处里工艺标准流程标准流程
进行"物理奠定+斜管沉垫池奠定+广度过滤器"三阶段进行处理工学院艺:
采和症状
:污泥脱水氢腐蚀钙(Ca(OH)2)的调节pH至8-9,形成氟化钙奠定
水解酸化池滤渣
:加入到PAC(汇聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺)进阶放置作用
层级过滤器
:顺利通过石英晶体砂管道过滤器器和几丁质酶炭过滤塔彻底清除残余物自动隐藏物
pH调整
:用稀稀盐酸将有水出pH懂得调整至6-9的标准超范围
的关键的主要参数表:想法事件≥30分种,Ca/F摩尔比的管控在1.1:1,搅拌机车速60rpm。
后面治疗效果
治理后出水量氟亚铁离子氧化还原电位安全稳定在6-8mg/L,除去率达99%,基本做到《污水废气排放整合废气排放规则》(GB8978-1996)6级规则。系統系统机械自动化的程度高,工作利润约8元/吨水。