某半导制鑫霖环保牌因晶圆擦洗工作形成含氨废水加工处理工艺,排水量200吨/天。废水加工处理工艺中除氧化还原电位外还具有氟化物和轻微天价属,加工处理强度大。本地人排放物标准规范让氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废气组成成分及來源
晶圆进行维护清洁污废水 (主要渠道):含化学需氧量200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺废污水:含少量铜、镍等天价属,pH值振幅大
CMP磨细化工废水:含硅小粒及氧化还原电位
处置方法标准流程
运用"化学工业放置+膜分離+折点氯化"組合加工制作工艺 :
预补救
:污泥脱水CaCl2除氟,控住pH在7.5-8.
超滤膜平台
:出掉0.01μm大于颗粒肥料物
反渗透膜工作会更精炼
:将氟化物果汁至1000mg/L上
折点氯化
:精准度把握氯加药量,将高锰酸盐指数和转化了为氢气
铝离子交互
:服务巨资属符合标准
结果是视觉效果
挥发酚安全稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属水平不超过监测限
水使用率达75%
污泥干化呈现量少40%