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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

建设项目背景图案 该半导品牌应用于长半圆各地,首要产量8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日排卸废供水量约2000吨。因半导产量酿造工艺麻烦,化工废水治疗方法基本成分多彩且包含有各种各样难降解塑料有害物质,品牌多余治疗体系难以达到必将从严的绿色环保排卸原则,故创业1000万元新砌专业的化工废水治疗方法治疗站。 废污水的成分及主要来源 该企业的污废水 基本可以分为4类: 含氟废水处理方法:特征于晶圆蚀刻、清理繁琐流程,氟阴阳离子盐浓度达2000mg/L; 可挥发废水处理工艺设备:源自光刻、定影等工艺设备,含带异丙醇、二甲苯等可挥发溶液,COD值在5000mg/L作用; 酸性废水整理工艺:呈现于洗掉和表面能整理方式,pH值上下波动大; 含铜废水处理:产于主轴电镀和金屬蓝翔塑业有限公司所生产的艺,铜亚铁离子溶液浓度约150mg/L。 除理技术程序 对於区别质地的电镀废水,适用"分级回收利用+分质外理+后部角度外理"的搭配组合生产技术: 含氟工业废水操作线: 有级生物学沉积出的:先加药氯化钙调接pH至6-7,多加入PAC和PAM二沉池沉积出的; 活力性空气三氧化二铝离心分离:切实保障氟化合物浓硫酸浓度低于8mg/L下面的。 设计废渣治疗线: 微钛电极不起作用:铁碳规整填料床预操作加快废污水可生物化性; UASB厌氧发酵的物反应器:HRT=24h,COD消除率65%; MBR膜生物工程症状器:主要包括PVDF空心棉纤维膜,满水后COD<50mg/L。 碱酸生产废水与系统软件: 自动式pH转换:根据迅雷在线数据监测仪操纵加酸加碱量; 斜管乳浊液池乳浊液:清掉采和会产生的悬屏物。 含铜废渣治理: 普通机械滤渣:污泥脱水NaOH上下调整pH至9-10,进行氢氧化物铜滤渣; 正铝离子互转:事关铜正铝离子氨水浓度<0.3mg/L。 深入处理单无: 活性氧催化反应被氧化:进十步挥发难葡萄糖氧化生产物; 催化活性碳过滤清洁:快速清理颜色和氢化物发生器危害物; UV太阳光线清洗:加强组织领导喷水微动物的指标符合标准。 之后郊果 新项目执行后,出水出水水的质量不稳定性可达到《网络工农业水危害物的的废气排放物标》(GB 39731-2020)特别的的废气排放物最大限度的要求,里面氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。每人每年可降低氟化物的的废气排放物约120吨,COD的的废气排放物约400吨,收废水网络资源约100万吨。设备全自动化的程度高,执行投资成本抑制在8.5元/吨水控制。

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