半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
楼盘游戏 背景
该半导体材料各个企业座落在长三边形地,重点生產8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日排出量废用水量约2000吨。可能生產新工艺繁杂,废池中内含三种难光降解无机物和天价属铝离子,传统意义治理 技巧易于提供渐趋严格要求的排出量基准。
污水部分及来原
污水首要来源地于七个各个环节:晶圆切除污水含非常多的硅粉和切除液残余;耐腐蚀机械制造打磨污水食含溶液硅和考虑颗粒状;刻蚀清理污水含氟化物、铜亚铁离子等血本属;光刻施工工艺污水则含光阻剂等巧妙环境污物。水质监测特征 是COD高(800-1500mg/L)、氟化物溶度高(200-400mg/L)、浮动物多且含进样器血本属。
进行处理工艺设备方法
用"物理预处置+生物化学处置+深浅处置"的搭配组合艺:
自动调节池动态平衡水质检测储水量
混泥土凝固祛除悬停物和氢氧化铁化学物质
电学放置物中法专门针对操作氟化物,添加钙盐转变成氟化钙放置物中
油脂水解碱化池改善生活污水可血生化性
使用氧化物池挥发生物碳污染问题物
活力炭溶解塔展开层次治理
膜拆分体系保持留水水质标准稳定的
对於含铜废液分开设施化合物变换系统化,收集有意义的金属制铜。
决定性目的
大型项目起建后运动动态平衡,出水出水COD<50mg/L,氟化物溶度<5mg/L,铜铝离子溶度<0.3mg/L,贴心的售后服务指标图均具有国家的《微电子轻工业水废弃物物进行排放出口标》(GB 39731-2020)。年均可可以减少COD进行排放出口约300吨,氟化物进行排放出口约50吨,再利用铜合金金属约2吨,达成了区域环境利润与社会经济利润的互惠互利。