半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
項目游戏 背景
该第三产业基地集聚了十余家半导体芯片有关中小型各个企业,的设计日进行办理作用5000吨,必须进行办理出自于区别中小型各个企业的分层工业废水外理方法。可能各中小型各个企业生产的方法文化差异大,工业废水外理方法的成分缜密千变万化,进行办理关卡较高。
废气化学成分及来自
污废污水 最主要及及两大类:ab剂值设计污废污水 (光刻胶、定影液等)、含氟污废污水 (刻蚀工作)和酸碱平衡污废污水 (冲洗工作)。特异材质及及异丙醇、四甲基氢氧化物铵等难生物降解设计物,及及氟化物、化学需氧量等硅化物的固体废弃物。污废污水 COD价格波动大(500-3000mg/L),氟化物浓硫酸浓度值100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
外理工艺设备流程图
采取"类型持续+分质处置+集中点深度.处置"的转型升级形式 :
制造业企业内壁归类预外理:含氟生产废水独自收藏并预外理
项目管线分为传送整体
整合调控池动态平衡水体质量
两极沥青混凝土积累彻底清除浮动物和胶体溶液
高效益海洋生物的管式反应器(HBR)正确处理有机物的废水
二防氧化碳催化反应防氧化溶解难拆解生产物
反构建程序使用脱盐加工
太阳极为线消毒杀菌狠抓出水出水安全的
比较设置成了在线上监测网模式和自功投加药剂模式,防范水体质量振幅。
之后郊果
软件系统电脑运行五年期来,治理的效果稳固靠谱。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,化学需氧量<5mg/L,总氮<15mg/L,到达地下水Ⅳ类规范,组成部分工业废水处理于科技科技园区造林及待冷却水塔补水保湿,工业废水处理率低于30%。常年减掉新鮮水便用约30万吨,为科技科技园区企业合理安排电费数百人万美金。